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退火爐
退火爐

  退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。臺車式退火爐是標準節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構,節電30%。生產采用復合式高鋁瓷釘組,臺車防撞擊密封磚,自動密封臺車和爐門,一體化連軌,不需基礎安裝,放在水平地面即可使用。主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時效以及各種機械零件熱處理之用。

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